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基于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)印刷電路板工藝的新型微流控芯片制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5271239

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本發(fā)明涉及一種適用于微乳液滴制備的新型微流控芯片的制作方法,屬于微流控芯片的制作。背景技術(shù)目前,微流控系統(tǒng)已經(jīng)成為微機(jī)電系統(tǒng)的一個重要分支,具有尺寸小,無效體積小,功耗低,控制精度高,響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于生物檢測、微乳液成型、先進(jìn)功能材料制備等方面。比較常見的微流控芯片的制作方法主要有三種,分別為刻蝕成型、軟光刻鑄造、毛 細(xì)玻璃管裝配。文獻(xiàn)KPhysics of Fluids, 2005, 17 013601)報道的硅基微通道工藝,采用體硅刻蝕工藝...
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