技術(shù)編號:5271239
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種適用于微乳液滴制備的新型微流控芯片的制作方法,屬于微流控芯片的制作。背景技術(shù)目前,微流控系統(tǒng)已經(jīng)成為微機(jī)電系統(tǒng)的一個重要分支,具有尺寸小,無效體積小,功耗低,控制精度高,響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于生物檢測、微乳液成型、先進(jìn)功能材料制備等方面。比較常見的微流控芯片的制作方法主要有三種,分別為刻蝕成型、軟光刻鑄造、毛 細(xì)玻璃管裝配。文獻(xiàn)KPhysics of Fluids, 2005, 17 013601)報道的硅基微通道工藝,采用體硅刻蝕工藝...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。