技術(shù)編號：5270415
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種基于MEMS技術(shù)的全波段紅外焦平面陣列的設(shè)計和制備方法，特別是關(guān)于一種從襯底側(cè)進行可見光讀出的全波段紅外焦平面陣列。本發(fā)明提供的全波段紅外焦平面陣列由微懸臂梁像元陣列和支撐微懸臂梁像元陣列的透明襯底組成，微懸臂梁像元由紅外敏感面和微懸臂梁支腿組成，紅外敏感面包括主結(jié)構(gòu)層、紅外吸收結(jié)構(gòu)層和光學(xué)反射鏡面。當(dāng)紅外光輻射到焦平面陣列時，設(shè)計在紅外敏感面上的紅外吸收結(jié)構(gòu)將吸收的能量轉(zhuǎn)換成熱能，使微懸臂梁像元發(fā)生偏轉(zhuǎn)，光學(xué)檢測系統(tǒng)通過透明襯底讀出微懸臂...
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