技術(shù)編號(hào)：5270274
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種MEMS懸臂梁式加速度計(jì)，包括測量體、與所述測量體相連接的上蓋板以及下蓋板；所述測量體包括框架、位于所述框架內(nèi)的質(zhì)量塊，所述質(zhì)量塊與所述框架之間通過多根懸臂梁相連接；所述質(zhì)量塊與所述框架之間還設(shè)置有緩沖梁，所述緩沖梁的一端與所述質(zhì)量塊相連接，所述緩沖梁的另一端與所述框架相連接。緩沖梁可以有效地保護(hù)加速度計(jì)，防止其因外力過大而損壞。專利說明—種MEMS懸臂梁式加速度計(jì)及其制造工藝 [0001]本發(fā)明涉及傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種加速度計(jì)及其制造工藝。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。