技術(shù)編號：5269900
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型屬于微機(jī)電系統(tǒng)MEMS中的微慣性傳感器技術(shù)，特別是一種雙軸諧振式硅微加速度計(jì)。背景技術(shù)諧振式硅微加速度計(jì)是典型的MEMS慣性傳感器，其研究始于20世紀(jì)70年代初， 現(xiàn)有電容式、壓電式、壓阻式、熱對流、隧道電流式和諧振式等多種形式。諧振式硅微加速度計(jì)的獨(dú)特特點(diǎn)是其輸出信號是頻率信號，它的準(zhǔn)數(shù)字量輸出可直接用于復(fù)雜的數(shù)字電路， 具有很高的抗干擾能力和穩(wěn)定性，而且免去了其它類型加速度計(jì)在信號傳遞方面的諸多不便，直接與數(shù)字處理器相連。目前美國Draper...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。