技術(shù)編號：5268738
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在一個實施例中，一種形成栓塞的方法包括提供基底層；在所述基底層的上表面之上提供中間氧化物層；在所述中間氧化物層的上表面之上提供上部層；蝕刻溝槽，所述溝槽包括延伸穿過所述上部層的第一溝槽部分、延伸穿過所述氧化物層的第二溝槽部分和延伸到所述基底層中的第三溝槽部分；將第一材料部分沉積到第三溝槽部分內(nèi)；將第二材料部分沉積到第二溝槽部分內(nèi)；和將第三材料部分沉積到第一溝槽部分內(nèi)。專利說明具有凹入式栓塞的晶圓[0001]本申請要求2011年4月14日提交的美國臨時申請N...
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