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微機(jī)械裝置及其設(shè)計(jì)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5268730

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本發(fā)明涉及一種微機(jī)械裝置,包括半導(dǎo)體元件,所述半導(dǎo)體元件能夠產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)或諧振,并且包括具有不同材料性質(zhì)的至少兩個(gè)區(qū)域;以及功能性連接到所述半導(dǎo)體元件的驅(qū)動(dòng)或傳感機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明,所述區(qū)域中的至少一個(gè)包括一種或多種n型摻雜劑,并且所述區(qū)域的相對(duì)體積、摻雜濃度、摻雜劑和/或晶體定向構(gòu)造成使得所述區(qū)域的廣義剛度的溫度敏感度至少在一個(gè)溫度下符號(hào)相反,并且在100℃的溫度范圍內(nèi),所述半導(dǎo)體元件的廣義剛度的總體溫度漂移為50ppm或更少。所述裝置可以為諧振器。還公開(kāi)了一...
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