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靜電式振動能量采集器構(gòu)件以及制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5268053

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本發(fā)明涉及振動能量采集器,特別涉及靜電式振動能量采集器的構(gòu)件以及這些構(gòu) 件的制造方法。背景技術(shù)能量采集(energy harvesting)是指采集環(huán)境的能源,如熱、輻射或動能并轉(zhuǎn)換成 為電能。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical Systems =MEMS)技術(shù)和超低能耗的集 成電路設(shè)計的進(jìn)展,電路和器件的尺寸以及驅(qū)動它們所需能量都正在顯著減少。這些所需 能量量級已進(jìn)入能量采集器(energy harvester)所能提供能量的范...
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