技術(shù)編號：5268052
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型屬于微光機電裝置領(lǐng)域，特別涉及一種以壓電多層薄膜驅(qū)動的MEMS光開關(guān)。背景技術(shù)MEMS技術(shù)在光通信中的應(yīng)用最有前景的應(yīng)用之一是光交叉互連(OXC)開關(guān)。MEMS光開關(guān)是微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)與傳統(tǒng)光開關(guān)技術(shù)相結(jié)合的新型光開關(guān)。近年來，自由空間光學(xué)MEMS技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)在這項應(yīng)用上顯示了優(yōu)越的性能。自由空間設(shè)計在光學(xué)材料和它周圍環(huán)境之間有固有的高折射率失配的優(yōu)點，使MEMS光開關(guān)不僅保留了其傳統(tǒng)光開關(guān)自由空間光學(xué)低損耗和低串?dāng)_的優(yōu)點，另外具有小...
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