技術(shù)編號：5268047
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微型機電裝置的形成，尤其涉及保護微型機電裝置的部件免受電老化的損害。背景技術(shù) 近些年來，人們越來越重視開發(fā)用于生產(chǎn)顯微系統(tǒng)的技術(shù)，該系統(tǒng)可以通過設(shè)計而具有特殊需要的電和/或機械性能。這些系統(tǒng)一般被稱作微機電系統(tǒng)(MEMS)，并且由于除了其體積小之外，還可以被制作為具有多種功能，因而微機電系統(tǒng)引起人們的廣泛關(guān)注。微機械方法通常采用沉積、圖案化、和蝕刻工藝的結(jié)合，以便生產(chǎn)出中間結(jié)構(gòu)。這種中間結(jié)構(gòu)可以包括用于形成最終裝置的部件的“結(jié)構(gòu)材料(struct...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。