技術(shù)編號(hào)：5267972
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)，具體涉及以碳納米螺旋作為微加熱元件的運(yùn)動(dòng) 傳感器及其制備方法。背景技術(shù)微熱傳導(dǎo)運(yùn)動(dòng)傳感器通過探測(cè)運(yùn)動(dòng)過程中封閉腔室內(nèi)溫度分布的變化反映描述 運(yùn)動(dòng)的變量如加速度、姿態(tài)等，其中的主要元件為微加熱器，不含可動(dòng)部件，比傳統(tǒng)的含有 振動(dòng)質(zhì)量塊的運(yùn)動(dòng)傳感器穩(wěn)定可靠，在導(dǎo)航、游戲機(jī)、姿態(tài)輸入等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景?，F(xiàn)有的微熱傳導(dǎo)運(yùn)動(dòng)傳感器技術(shù)一般采用多晶硅作為加熱器，功耗在幾十毫瓦甚 至幾百毫瓦，功耗較大。采用碳納米螺旋(Carbon Nanoc...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。