技術(shù)編號(hào)：5267549
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微系統(tǒng)制造技術(shù)，尤其涉及一種圓片級(jí)玻璃微流道的正壓熱成型制造方法。 背景技術(shù)在MEMS制造，Pyrex7740玻璃( 一種含有堿性離子的玻璃，Pyrex是 Corning公司的產(chǎn)品品牌)是一種重要的材料，它有著和Si材料相近的熱膨脹系數(shù)，有著高 透光率和較高的強(qiáng)度，并且可以通過(guò)使用陽(yáng)極鍵合工藝與Si襯底形成高強(qiáng)度的鍵合連接， 在鍵合表面產(chǎn)生了牢固的Si-O共價(jià)鍵，其強(qiáng)度甚至高于Si材料本身。由于這樣的特性，使 得Pyrex7740玻璃廣泛應(yīng)用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。