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一種多壁碳納米管電極的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5267280

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本發(fā)明涉及多壁碳納米管電極的制作方法,特別是涉及與集成電路制造工藝兼 容,在利用多壁碳納米管制作微納電子器件時(shí),能提高多壁碳納米管與金屬電極接觸特性 的電極制作方法。背景技術(shù)碳納米管具有優(yōu)異的電學(xué)、力學(xué)、熱學(xué)和化學(xué)特性,在很多方面有著潛在的應(yīng)用前 景。隨著碳納米管管壁中石墨環(huán)排列的螺旋性和管徑變化,碳納米管會(huì)呈現(xiàn)金屬性或半導(dǎo) 體性。金屬性碳納米管,尤其是多壁碳納米管,由于具有很高的電流承載能力,是用作未來(lái) 微納電子器件和集成電路互連導(dǎo)線的理想材料。要實(shí)現(xiàn)碳...
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