技術(shù)編號(hào):5267280
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多壁碳納米管電極的制作方法,特別是涉及與集成電路制造工藝兼 容,在利用多壁碳納米管制作微納電子器件時(shí),能提高多壁碳納米管與金屬電極接觸特性 的電極制作方法。背景技術(shù)碳納米管具有優(yōu)異的電學(xué)、力學(xué)、熱學(xué)和化學(xué)特性,在很多方面有著潛在的應(yīng)用前 景。隨著碳納米管管壁中石墨環(huán)排列的螺旋性和管徑變化,碳納米管會(huì)呈現(xiàn)金屬性或半導(dǎo) 體性。金屬性碳納米管,尤其是多壁碳納米管,由于具有很高的電流承載能力,是用作未來(lái) 微納電子器件和集成電路互連導(dǎo)線的理想材料。要實(shí)現(xiàn)碳...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。