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納米器件、包括該納米器件的晶體管、用于制造該納米器件的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5267038

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,以及用于制造該晶體 ...的制作方法本發(fā)明涉及,以及用于制造該晶體管的方法。更具體而言,本發(fā)明涉及一種納米器件,其包括通過(guò)利用在襯 底上形成的圖樣而成形為在期望位置具有期望形狀的納米管或納米壁,以及涉及包括該納 米器件的晶體管、用于制造該納米器件的方法,以及用于制造該晶體管的方法。背景技術(shù)一種使用自下而上的方法(bottom-up process)來(lái)制造納米結(jié)構(gòu)的方法引起很大 的關(guān)注。該納米結(jié)構(gòu)以該自下而上方法生長(zhǎng),使得其具有高晶體結(jié)構(gòu)和低位錯(cuò)密度。因而...
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