技術(shù)編號：5266771
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及力敏傳感器，具體為一種0-50pa單片硅基SOI超低微 壓傳感器。(二) 背景技術(shù)目前國內(nèi)超低微壓傳感器非常緊缺，價格昂貴，幾乎全部由國外進(jìn)口。國 內(nèi)學(xué)者曾于2000年完成國家九五科技攻關(guān)"96-748傳感器技術(shù)"研究項目"硅 微壓力傳感器"。(分專題96-748-02-01-/02)完成的技術(shù)指標(biāo)是量程0-300pa， 線5%，精度1.0%， VFS〉30mv， Vcc6伏，過載破壞壓強〉140倍。并經(jīng)科技査 新(1999年12月22日)(查新...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。