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圓片級(jí)玻璃微腔的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5266769

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本發(fā)明涉及一種MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))制造技術(shù),尤其涉及一種圓片級(jí)玻 璃微腔的制造方法。背景技術(shù)在MEMS制造,Pyrex7740玻璃(一種含有堿性離子的玻璃,Pyrex 是Corning公司的產(chǎn)品品牌)是一種重要的材料,它有著和Si材料相近的熱膨 脹系數(shù),有著高透光率和較高的強(qiáng)度,并且可以通過(guò)使用陽(yáng)極鍵合工藝與Si襯 底形成高強(qiáng)度的鍵合連接,在鍵合表面產(chǎn)生了牢固的Si-O共價(jià)鍵,其強(qiáng)度甚至 高于Si材料本身。由于這樣的特性,使得Pyrex7740玻璃廣...
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