技術(shù)編號：5266693
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及通過MEMS技術(shù)來制造的微開關(guān)器件和通過MEMS技術(shù)來 制造開關(guān)器件的方法。背景技術(shù)在諸如移動電話的無線電通信設(shè)備領(lǐng)域中，為求得更高性能而需要并入 的部件的數(shù)目不斷增長，因此對于更小RF電路的需求與日俱增。應(yīng)這樣的 需求，正在通過使用MEMS (微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)而為減小構(gòu)成電路所必需的 各種部件的尺寸付諸努力。MEMS開關(guān)就是這種部件的實(shí)例。MEMS開關(guān)是這類開關(guān)器件，即這些 開關(guān)器件的各部分是通過MEMS技術(shù)而形成的，因此而具有準(zhǔn)確的細(xì)節(jié)， 例...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。