技術(shù)編號：5266220
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及碳微/納機(jī)電系統(tǒng)(C-MEMS/NEMS)，具體涉及一種集成碳納米褶皺的三維碳微納電極陣列結(jié)構(gòu)的制備方法。背景技術(shù)近些年來，隨著微機(jī)電系統(tǒng)的不斷發(fā)展，碳材料被人們預(yù)見可應(yīng)用在三維微電池、生物芯片、微型電化學(xué)傳感器或分子開關(guān)等微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。其中一個(gè)十分有前景的是結(jié)合了傳統(tǒng)光刻與熱解的碳微機(jī)電系統(tǒng)(C-MEMS)技術(shù)。碳微機(jī)電系統(tǒng)工藝是一種厚膠光刻技術(shù)結(jié)合熱解工藝的制造技術(shù)，該技術(shù)將負(fù)性光刻膠(主要是SU-8膠)通過曝光、顯影等步驟造型...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。