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光調(diào)制器像素單元及其制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5265133

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本發(fā)明涉及光調(diào)制器,特別涉及應(yīng)用于平板顯示系統(tǒng)的。背景技術(shù)在投影系統(tǒng)中,關(guān)鍵的組成部件是光調(diào)制器。現(xiàn)有的光調(diào)制器包括微機(jī)電部件 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS),所述光調(diào)制器通過控制施加于微機(jī)電部件上的電信號(hào),控制微機(jī)電部件進(jìn)行移動(dòng),利用微機(jī)電部件的移動(dòng)對(duì)入射光調(diào)制器的光線進(jìn)行調(diào)制,輸出具有一定灰度的光線。通常光調(diào)制器包括多個(gè)呈矩陣排布的像素單元,現(xiàn)有的光調(diào)制器像素單元有兩種利用光的反射原理的數(shù)字鏡面器(di...
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