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一種用于密度測量的電容微加工超聲傳感器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5264811

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本發(fā)明涉及MEMS技術(shù)和液體物性參數(shù)測試,特別是。背景技術(shù)目前,在實際測量中技術(shù)成熟且廣泛應(yīng)用的液體密度傳感器主要有振動式、放射性同位素式、浮力式、靜壓式、重力式、聲速式等。這些傳統(tǒng)的密度傳感器都有一個共同的缺陷,即不能滿足在線測量。在液體密度測量時,需要先提取樣品再離線測量,但由于測試環(huán)境與實際工況在溫度、壓力等方面的差異,會導(dǎo)致密度的測量值與實際環(huán)境測量值之間存在較大誤差。另外,傳統(tǒng)的密度傳感測量時所需樣品多,若要得到不同條件下待測液體密度的變化規(guī)律,...
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