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一種微型熱導(dǎo)檢測器集成芯片及制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5264622

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本發(fā)明涉及集成芯片,是,基于MEMS技術(shù),用于各種混合氣體的檢測,廣泛用于潛艇有害氣體檢測、大氣質(zhì)量監(jiān)測、家居安全、礦井瓦斯、食品安全、毒品檢測以及癌癥預(yù)測等檢測。背景技術(shù)氣相色譜法(GC)是英國生物化學(xué)家Martin ATP等人創(chuàng)立的一種極有效的分離方法,它可用于分析和檢測復(fù)雜的多組分氣體混合物。20年來,氣相色譜技術(shù)在實(shí)現(xiàn)方式、儀器開發(fā)和應(yīng)用領(lǐng)域擴(kuò)展上都獲得了飛速的發(fā)展。 在氣體檢測器中,熱導(dǎo)檢測器是一種很重要的檢測器,熱導(dǎo)檢測器主要由微型熱導(dǎo)池、熱敏...
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