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硅基mems陣列式推進(jìn)器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5155914

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本發(fā)明公開了一種硅基MEMS陣列式推進(jìn)器及其制備方法,屬于微推進(jìn)。該推進(jìn)器主要包括分別位于硅片上、下表面的噴嘴陣列部分和電路部分;噴嘴陣列為硅片上表面內(nèi)凹形成的空腔陣列組成,各噴嘴內(nèi)填充油燃料;電路部分由硅片下表面濺射的點(diǎn)火電阻2陣列、點(diǎn)火導(dǎo)線3和焊盤4組成,各點(diǎn)火電阻2與各噴嘴1位置相對應(yīng)。本發(fā)明同時公布了制備上述硅基MEMS陣列式推進(jìn)器的無鍵合工藝方法。本發(fā)明的有益效果是將噴嘴和點(diǎn)火電阻等集成在硅材料的上下表面,避免了原有MEMS推進(jìn)器鍵合、組裝等流程...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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