技術編號：4919973
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的課題在于提供如下過氟化物的處理方法以及過氟化物處理裝置其能夠能效良好地防止熱交換器的配管的腐蝕，除此之外，能夠削減廢水量，效率良好地回收高純度的氟化鈣。進而，提供設備以及設置場所小、效率良好的過氟化物處理裝置。本發(fā)明將包含過氟化物的廢氣和水或水蒸氣向熱交換器（2）供給，通過與高溫的分解氣體熱交換來預熱，并進一步加熱，利用催化劑（12）分解。在將包含氟化氫氣體的分解氣體用熱交換器（2）冷卻后，在酸性氣體除去裝置（31）內使氟化氫氣體與鈣鹽反應，能夠得...
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