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技術(shù)編號：4756339

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本實用新型涉及一種通過高溫煅燒使氟硅酸鹽裂解制取四氟化硅的全密封回轉(zhuǎn)煅燒爐。技術(shù)背景用氟硅酸鹽在高溫下裂解制取四氟化硅是四氟化硅多種制取方法中的一種，該傳 統(tǒng)工藝為用耐火磚砌加熱爐分段加熱氟硅酸鹽，使其裂解來制取四氟化硅。但是存在以下 問題傳統(tǒng)工藝中使用耐火磚堆砌的加熱爐，加熱方式采用燃料燃燒直接加熱放置在鋼板 上的物料，由于加熱爐的局限性，存在生產(chǎn)不連續(xù)、產(chǎn)能小、熱利用率低、勞動強(qiáng)度大、溫度 不宜控制、生成物易結(jié)塊不能再利用、污染環(huán)境等缺陷。 要解決以上...
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