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技術(shù)編號：4754056

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造，特別是涉及一種。背景技術(shù)在半導(dǎo)體晶圓的制造工藝中，采用濕法清洗的步驟后，常常會采用異丙醇(IPA) 來達到較好的干燥效果。通常而言，干燥步驟如下(1)開始時采用一段時間的去離子水清 洗，同時向去離子水的頁面通入IPA ； (2)移除清洗晶圓的去離子水，然后進行一干燥步驟；[3]最后使殘留的IPA完全蒸發(fā)。這種方法能達到很好的干燥效果，但是在某些制程，如Al 刻蝕之后的EKC清洗工藝中，裸露在外的Al線如果與去離子水接觸的時間過長，...
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