技術編號：4672285
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種生產(chǎn)多晶硅的還原爐，尤其是涉及一種多晶硅還原爐 之水冷電極。屬多晶硅制備。 背景技術多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接材料。高純度多晶硅是光電轉(zhuǎn)換電池、集 成電路等半導體器件的基礎材料。隨著世界半導體工業(yè)的迅猛發(fā)展、超大 規(guī)格集成電路的大量應用、光伏電池的大量需求，整個世界對多晶硅的需 求量在大幅增加。生產(chǎn)多晶硅的方法有多種，氫還原法是最常見的一種方法。該方法是 把提純的硅鹵化物和凈化好的氫氣作為原料通入還原爐，在高溫環(huán)境中， 硅鹵化物與氫氣發(fā)生化學反...
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