技術編號:4612359
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種帶自動拉溫區(qū)的溫度串級系統(tǒng),具體地說,涉及一種擴散爐的帶自動拉溫區(qū)功能的溫度串級系統(tǒng)。背景技術首先,在半導體、太陽能等行業(yè)的現有技術中,高溫爐體的溫度控制主要由兩種方式熱電偶和單片機或熱電偶和溫控儀表。對于前一種溫度控制方式其缺點在于單片機容易損壞,其內部結構較復雜使得高溫設備的溫控系統(tǒng)一旦出現故障,故障原因查找和排除非常繁瑣,且一般這種控溫方式的控制系統(tǒng)硬件(單片機和板卡)都由設備生產廠家訂制,這樣就很難保證設備能夠得到及時的維修且不容...
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