技術(shù)編號:4607942
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及工業(yè)用恒壓裝置,更具體地,涉及一種泄壓風門。 背景技術(shù)近年來,電子產(chǎn)業(yè)特別是集成電路產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。為了保證電子產(chǎn)品的質(zhì)量,要求在無塵環(huán)境下進行產(chǎn)品生成。因而,在電子工業(yè)中普遍建立了潔凈室。潔凈室中的空氣受到凈化,去除粉塵和其它雜質(zhì),達到較高的潔凈標準。為了防止外界空氣中的雜質(zhì)粉塵通過擴散進入潔凈室中,避免潔凈室的空氣受到外污染,潔凈室內(nèi)必須保持正壓。然而,如果潔凈室內(nèi)空氣壓力過高,會造成門扇不易開關(guān)。 因而,普遍在潔凈室和外界之間使用泄壓風門...
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