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技術編號：4602517

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本發(fā)明涉及集成電路板和微機電系統(tǒng)的封裝領域，尤其涉及用于集成電路和微機電系統(tǒng)的封裝領域所使用的電加熱爐。背景技術隨著 MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems，微機電系統(tǒng)，以下簡稱 MEMS)技術的發(fā)展以及ICantegrated Circuit，集成電路，以下簡稱IC)領域產品的不斷更新，對產品生產加工中涉及到加熱工藝部分的技術要求越來越高，而且要求能在一定程度上實現(xiàn)智能化控制。MEMS領域和IC領域中電加熱爐的應用十...
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