技術(shù)編號(hào)：4450288
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。在滾筒模具的表面上針對(duì)每一規(guī)定區(qū)域向圓周方向曝光掩模圖案的所謂的步進(jìn)與重復(fù)方法中，可提高掩模圖案間的間隔精度，從而可抑制在掩模圖案旋轉(zhuǎn)一周時(shí)接縫偏移。為實(shí)現(xiàn)該目的，本發(fā)明所涉及的滾筒模具制作裝置包括掩模(3)，其具有使被照射物的一部分透過(guò)的功能；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，其使?jié)L筒模具(100)繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)量檢測(cè)傳感器，其檢測(cè)旋轉(zhuǎn)量；控制裝置，其發(fā)送用于調(diào)整被照射物在滾筒模具(100)的抗蝕劑上的圓周方向描畫位置的控制信號(hào)；以及致動(dòng)器(7)，其使掩模(3)直線狀移...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。