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一種導(dǎo)能導(dǎo)流和精密定位的聚合物微結(jié)構(gòu)超聲波鍵合結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4428981

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本發(fā)明屬于聚合物微機電系統(tǒng)加工,涉及一種微結(jié)構(gòu)封接接頭結(jié)構(gòu),用于聚合物微流控芯片微結(jié)構(gòu)的超聲波鍵合,特別涉及一種導(dǎo)能導(dǎo)流和精密定位的聚合物微結(jié)構(gòu)超聲波鍵合結(jié)構(gòu)。背景技術(shù) 微流控芯片是目前微全分析系統(tǒng)(μ-TAS)的研究重點之一,它借助于微細(xì)加工技術(shù),制作以微管道網(wǎng)絡(luò)為主的微型結(jié)構(gòu),通過對流體的控制,實現(xiàn)對生物樣品集成處理和分析??焖俑咝У貙崿F(xiàn)聚合物微通道的封接是芯片制作的關(guān)鍵技術(shù)之一。目前聚合物微流控芯片的鍵合方法可分為間質(zhì)鍵合和直接鍵合兩大類。間質(zhì)鍵合由...
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