技術(shù)編號：4358624
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將FPD(Flat Panel Display)基板、例如玻璃基板從基板輸出裝置供給到流程(process)裝置的基板搬運(yùn)系統(tǒng)。背景技術(shù) FPD的制造流程，由于要以片為單位進(jìn)行加工，故加工流水線內(nèi)將基板(比如玻璃基板)1片片地以片為單位進(jìn)行搬運(yùn)，另一方面，在流水線之間以盒單位進(jìn)行搬運(yùn)。因此，在各流水線的頭部和尾部設(shè)有FPD基板裝載、卸載裝置，從盒供給基板及將基板回收至盒。近年來，出于提高生產(chǎn)性，基板面臨大型化、薄壁化，另外，存放于盒的片數(shù)也在增加...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。