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提高單晶片反應(yīng)器的生產(chǎn)能力的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4337746

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本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體制造加工系統(tǒng),尤其是在單個(gè)晶片(single)反應(yīng)器中加工半導(dǎo)體晶片的提高生產(chǎn)能力的方法和設(shè)備。背景技術(shù)在通過(guò)淀積薄膜材料制造半導(dǎo)體材料和器件結(jié)構(gòu)時(shí),現(xiàn)有技術(shù)使用各種淀積系統(tǒng)。這些淀積系統(tǒng)包括反應(yīng)室,在反應(yīng)室內(nèi)在有氣相源材料的情況下把所晶片基片加熱到高溫,以在晶片表面上淀積所要求的薄膜。硅外延膜典型地在兩種通用類型的反應(yīng)器中淀積。老式的是批量反應(yīng)器,這種反應(yīng)器一次裝入許多晶片。受提高生產(chǎn)能力的愿望所推動(dòng),批量反應(yīng)器在體積上不斷地增長(zhǎng)?,F(xiàn)...
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