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基板傳送用機(jī)械手的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):4335919

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本發(fā)明涉及一種基板傳送用機(jī)械手,其設(shè)在傳送半導(dǎo)體晶片、玻璃基板等基板的 傳送機(jī)器人上,以載置的狀態(tài)支撐基板。背景技術(shù)以往,作為在基板上實(shí)施成膜處理、蝕刻處理等各種處理的裝置,如圖1所示,公 知有如下所述地構(gòu)成的處理裝置(所謂的組合工具裝置)以包圍配置了傳送機(jī)器人1的 中央的傳送室A的方式,配置基板的裝載鎖定室B和多個(gè)處理室C,通過(guò)傳送機(jī)器人1將投 入到裝載鎖定室B的基板S傳送給各處理室C。傳送機(jī)器人1具有回旋以及伸縮自如的機(jī) 械臂2,在機(jī)械臂2的前端安裝有...
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