技術(shù)編號(hào):4335919
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板傳送用機(jī)械手,其設(shè)在傳送半導(dǎo)體晶片、玻璃基板等基板的 傳送機(jī)器人上,以載置的狀態(tài)支撐基板。背景技術(shù)以往,作為在基板上實(shí)施成膜處理、蝕刻處理等各種處理的裝置,如圖1所示,公 知有如下所述地構(gòu)成的處理裝置(所謂的組合工具裝置)以包圍配置了傳送機(jī)器人1的 中央的傳送室A的方式,配置基板的裝載鎖定室B和多個(gè)處理室C,通過(guò)傳送機(jī)器人1將投 入到裝載鎖定室B的基板S傳送給各處理室C。傳送機(jī)器人1具有回旋以及伸縮自如的機(jī) 械臂2,在機(jī)械臂2的前端安裝有...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。