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一種納米探針存放裝置制造方法技術資料下載

技術編號:4296304

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本實用新型公開一種納米探針存放裝置,通過探針容器的結(jié)構設計,提高了探針的存放的穩(wěn)固性及取放的便捷性;通過將探針容器放置于真空袋中,保證了探針容器的潔凈度,避免外界空氣與探針接觸對其造成的污染。從而改善了現(xiàn)有技術在使用完探針進行存放時,由于受外界環(huán)境及固定效果不佳等因素的影響,致使探針被污染或變形而無法進行重復使用的情況,節(jié)約了資源,減少了產(chǎn)業(yè)額外的開銷。專利說明一種納米探針存放裝置[0001]本實用新型涉及半導體制造,尤其涉及一種納米探針存放裝置。背景技術...
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