技術編號：4228299
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及水平地輸送被處理基板的。 背景技術例如，在FPD (平板顯示器)的制造中，進行通過所謂的光刻工序來形成電路圖案的作業(yè)。上述光刻工序具體來說如下這樣進行。首先，在玻璃基板等被處理基板上形成規(guī)定的膜，之后，涂布作為處理液的光致抗蝕劑(以下稱作抗蝕劑)并形成抗蝕劑膜。然后，與電路圖案相對應地對抗蝕劑膜進行曝光，并對曝光后的抗蝕劑膜進行顯影處理。但是，近年來，在該光刻工序中，出于提高生產(chǎn)率的目的，多采用一邊以大致水平姿勢的狀態(tài)輸送被處理基板一邊對該被處理...
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