技術(shù)編號(hào)：40817525
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及并聯(lián)機(jī)構(gòu)術(shù)領(lǐng)域，具體是一種兼具六自由度隔振及精確定位功能的并聯(lián)機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)、目前半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展，半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的精度要求越來越高，設(shè)備對(duì)微振動(dòng)等環(huán)境的要求也越來越敏感，少許的微振動(dòng)就會(huì)降低設(shè)備的產(chǎn)出良率，甚至使設(shè)備不能正常工作，因此對(duì)微振動(dòng)的隔離變得越來越重要。、并聯(lián)機(jī)構(gòu)由于具有剛度大、承載能力強(qiáng)、位置誤差不累計(jì)等特點(diǎn)，目前，已經(jīng)在航空、航天、海底作業(yè)、地下開采、制造裝配等行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。傳統(tǒng)的并聯(lián)機(jī)構(gòu)的支腿采用液壓缸驅(qū)動(dòng)，裝置較為笨重，并且精度不高，存在一定的局限性。為...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。