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一種氧化鎵基垂直結(jié)構(gòu)紫外探測器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40817474

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電探測器,尤其涉及一種氧化鎵基垂直結(jié)構(gòu)紫外探測器及其制備方法。背景技術(shù)、日盲紫外光電探測器因其在軍用和民用領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景,近年來受到研究者們的廣泛關(guān)注。基于寬帶隙半導(dǎo)體材料的日盲紫外光電探測器已經(jīng)成為新一代的紫外探測器件。作為寬帶隙半導(dǎo)體材料之一的氧化鎵有 α相、 β相、 γ相、 δ相、 ε相、 κ相等...
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