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芯片設(shè)計(jì)圖案的校驗(yàn)方法和系統(tǒng)、智能終端、存儲(chǔ)介質(zhì)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40650538

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本申請(qǐng)涉及集成電路,具體涉及一種芯片設(shè)計(jì)圖案的校驗(yàn)方法和系統(tǒng)、智能終端、存儲(chǔ)介質(zhì)。背景技術(shù)、集成電路是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),隨著高端芯片關(guān)鍵尺寸的縮減和芯片布局復(fù)雜性的提升,如何對(duì)芯片設(shè)計(jì)圖案進(jìn)行快速校驗(yàn),以確保工藝加工的可行性、可靠性以及良率已成為芯片制造過(guò)程的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。、根據(jù)需要設(shè)計(jì)的芯片圖案經(jīng)曝光、顯影、刻蝕等環(huán)節(jié)后將光掩膜圖案轉(zhuǎn)移到晶圓片表面,得到實(shí)現(xiàn)特定功能的芯片。隨著芯片關(guān)鍵尺寸的縮減,光刻機(jī)光源繞射效應(yīng)增強(qiáng),晶圓片表面成像圖案模糊度變大,無(wú)法正確轉(zhuǎn)移掩膜圖案,造成失真,影響芯...
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