技術(shù)編號：40646767
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及成膜裝置及吸附方法。背景技術(shù)、近年來，有機(jī)el顯示裝置等的面板被廣泛使用，不僅在智能手機(jī)，在大型電視機(jī)等的大型面板中應(yīng)用領(lǐng)域也在擴(kuò)大。隨著這樣的基板的大型化，在使蒸發(fā)材料附著于基板而制造面板的成膜裝置中，為了穩(wěn)定地支承基板，開始利用吸附基板的吸附構(gòu)件。、例如在專利文獻(xiàn)中，作為用于降低伴隨基板的大型化的自重引起的撓曲的方法，公開了在基板的上部配置靜電卡盤，對靜電卡盤施加電壓，利用靜電引力吸附基板的上表面，從而降低基板的撓曲。、在先技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開...
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