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一種金屬化陶瓷基板及其制備方法和半導(dǎo)體器件與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40628268

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域,尤其涉及一種金屬化陶瓷基板及其制備方法和半導(dǎo)體器件。背景技術(shù)、金屬化陶瓷基板作為芯片封裝材料,主要包括直接覆銅陶瓷基板(direct?bondedcopper,dbc)、直接覆鋁陶瓷基板(direct?bonded?aluminum,dba)、活性金屬釬焊基板(active?metal?brazing,amb)。、dbc通常由銅金屬直接燒結(jié)到陶瓷基板表面制成,作為金屬化陶瓷基板中的代表性材料已廣泛應(yīng)用于igbt芯片封裝。目前,商業(yè)化的dbc主要通過(guò)金屬層表面設(shè)計(jì)的電路圖...
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