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一種夾持裝置、離子束修形設備及加工方法與流程技術資料下載

技術編號:40623868

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本發(fā)明涉及光學鏡片加工,特別是一種夾持裝置、離子束修形設備及加工方法。背景技術、高精度復雜光學曲面反射鏡的制造技術是高性能光學系統(tǒng)的核心關鍵技術之一。這種技術的工作原理是在真空環(huán)境下,利用離子源發(fā)射的高能離子束對光學表面進行轟擊,通過物理濺射效應實現(xiàn)原子量級的材料去除。這種方法可以達到納米級的制造精度,被認為是目前精度最高的光學加工方法之一。、在離子束修形技術中,主流采用的兩種形式為倒立式和臥式。關于倒立式加工方式,即采用工件表面朝下的方式進行加工。這種加工方式的優(yōu)點在于,當加工大口徑工件時...
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