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柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)、定位模塊和光刻設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40613718

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本發(fā)明涉及一種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)和包括這種柔性供應(yīng)結(jié)構(gòu)的定位模塊。本發(fā)明還涉及一種包括定位模塊的光刻設(shè)備。背景技術(shù)、光刻設(shè)備是構(gòu)造成將期望的圖案施加到襯底上的機(jī)器。光刻設(shè)備可以用于例如制造集成電路(ic)。光刻設(shè)備可以例如將圖案形成裝置(例如掩模)處的圖案投影到設(shè)置于襯底上的輻射敏感材料(抗蝕劑)層上。、為了將圖案投影于襯底上,光刻設(shè)備可以使用電磁輻射。該輻射的波長(zhǎng)確定可以形成于襯底上的特征的最小尺寸。相比于可以例如使用波長(zhǎng)為?nm的輻射的光刻設(shè)備,使用波長(zhǎng)在-?nm的范圍內(nèi)(例如....
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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