技術(shù)編號(hào)：40606565
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開(kāi)涉及基板處理裝置、搬送方法、半導(dǎo)體器件的制造方法以及記錄介質(zhì)。背景技術(shù)、以往，已知專利文獻(xiàn)所記載那樣的基板處理裝置，其具備：收納多個(gè)基板的收納容器；載置收納容器的載置部；保管該收納容器的保管室；搬送收納容器的搬送裝置；以及進(jìn)行作為基板狀態(tài)檢測(cè)裝置的測(cè)繪裝置和基板的取出放入的移載部(開(kāi)啟器)。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開(kāi)-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本公開(kāi)提供無(wú)論移載部的使用狀態(tài)如何，都能夠進(jìn)行下一容器的接收，從而使容器的搬送效率提高的技術(shù)。、根據(jù)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。