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一種化學氣相沉積爐的制作方法技術資料下載

技術編號:40604125

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本技術涉及復合材料氣相設備,具體涉及一種化學氣相沉積爐。背景技術、化學氣相沉積(cvi)是制造c/c復合材料的首選工藝方法,它是將碳纖維預制體置于專用的cvi爐內,加熱至要求溫度,通入前驅氣體(碳氫化合物),氣體分解后擴散至含有孔隙的預制體中,將碳沉積在碳纖維周圍和孔隙中,使預制體致密化,最終形成c/c復合材料。為保證沉積效果,提高沉積效率和質量,需要前驅氣體(碳氫化合物)在進入沉積區(qū)前預熱至一定溫度,一是提高前驅氣體分解效果;二是防止常溫或氣化后溫度低的前驅氣體進入沉積區(qū),造成爐膛局部溫度降...
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