技術(shù)編號(hào)：40596395
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及射頻電源，尤其涉及一種射頻電源點(diǎn)火控制方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)、在現(xiàn)有技術(shù)中，射頻等離子體電源系統(tǒng)的點(diǎn)火過程通常需要對(duì)功率信號(hào)進(jìn)行抑制，以確保穩(wěn)定的操作。這種抑制通常通過采用比較低的占空比進(jìn)行功率控制或者采用平衡功放結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。然而，這種方式往往會(huì)導(dǎo)致點(diǎn)火成功率較低的問題，因?yàn)樗鼈冊(cè)邳c(diǎn)火過程中可能無法提供足夠的能量或者穩(wěn)定的電場(chǎng)環(huán)境。、上述內(nèi)容僅用于輔助理解本發(fā)明的技術(shù)方案，并不代表承認(rèn)上述內(nèi)容是現(xiàn)有技術(shù)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本發(fā)明的主要目的在于提供一種射頻電源點(diǎn)火控制方法及系統(tǒng)，旨在解決...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。