技術(shù)編號：40584624
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微量摻雜的多源蒸鍍裝置，同時也涉及相應(yīng)的多源蒸鍍方法，屬于蒸鍍摻雜。背景技術(shù)、蒸鍍是指在真空條件下，采用一定的加熱蒸發(fā)方式蒸發(fā)鍍膜材料使之氣化，進(jìn)而使鍍膜材料的蒸汽在基板表面凝聚成鍍膜的工藝方法。、在蒸鍍過程中，如需摻雜其他元素，主要有兩種方法。第一種方法是將蒸鍍材料與摻雜材料預(yù)先混合，然后通過球磨等方式使其均勻分散。在蒸鍍時，將混合好的原料置于單一熱源下進(jìn)行蒸鍍。這種方法操作簡單，蒸鍍設(shè)備結(jié)構(gòu)不復(fù)雜，但摻雜比例難以精確控制，因為不同材料的熔點、沸點和蒸汽壓不同，導(dǎo)致氣化速率不...
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