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輔助圖形修正方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40578118

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本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體,特別是涉及一種輔助圖形修正方法、設(shè)備、介質(zhì)及產(chǎn)品。背景技術(shù)、在摩爾定律的推動(dòng)下,半導(dǎo)體行業(yè)正向著越來越小的特征尺寸發(fā)展,光刻工藝面臨前所未有的挑戰(zhàn),尤其是圖案分辨率與工藝穩(wěn)定性的雙重壓力日益凸顯。為了應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn),亞分辨率輔助圖形(sub-resolution?assist?feature,sraf)技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生,成為提升光刻分辨率、增強(qiáng)工藝窗口的關(guān)鍵手段。然而,在實(shí)際應(yīng)用中,現(xiàn)有技術(shù)在輔助圖形的修正環(huán)節(jié)缺乏足夠的適應(yīng)性和靈活性,難以在復(fù)雜多變的光刻環(huán)境中實(shí)現(xiàn)理想的修正效果,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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