技術(shù)編號：40575044
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體精密設(shè)備，具體而言，涉及一種微動臺及具有其的運(yùn)動系統(tǒng)。背景技術(shù)、目前，在半導(dǎo)體精密設(shè)備的微動臺中，用于對硅片進(jìn)行交接的頂柱一般為固定設(shè)置的結(jié)構(gòu)，該頂柱也不會隨著旋轉(zhuǎn)臺進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。、然而，采用這樣的設(shè)置方式，往往需要通過垂向驅(qū)動結(jié)構(gòu)控制吸盤的高度，從而調(diào)節(jié)頂柱凸出吸盤的量，這樣，將使得垂向驅(qū)動結(jié)構(gòu)的垂向位移行程較長，該行程需要覆蓋頂柱的高度。當(dāng)垂向驅(qū)動結(jié)構(gòu)的驅(qū)動部在較高位置時，將使得垂向驅(qū)動結(jié)構(gòu)的整體重心偏上，不利于垂向驅(qū)動結(jié)構(gòu)的整體運(yùn)行穩(wěn)定性，且在大加速度下將出現(xiàn)下偏擺的情況。...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。