技術(shù)編號(hào):40572494
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣象監(jiān)測(cè),具體涉及mems氣象傳感器及其監(jiān)測(cè)設(shè)備。背景技術(shù)、mems即微電子機(jī)械系統(tǒng),是一種集微型化、智能化、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化為一體,將信號(hào)處理、感知、控制與執(zhí)行等眾多功能融為一體的高度集成化的系統(tǒng)。而mems傳感器作為mems技術(shù)的重要應(yīng)用領(lǐng)域,正逐漸在各個(gè)行業(yè)中發(fā)揮出越來(lái)越重要的作用。mems傳感器是mems器件的一個(gè)重要分支,作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分,mems傳感器是實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)感知和信號(hào)處理的功能器件。這種傳感器采用mems制造技術(shù),即微電子制造技術(shù)和微機(jī)械加工制造技術(shù),...
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