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加工裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40566675

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本公開涉及測定被加工物的加工面的表面粗糙度的加工裝置。背景技術(shù)、以往,公知有對對象物進(jìn)行加工并測定加工后的對象物的加工面的表面狀態(tài)的加工裝置(例如參照專利文獻(xiàn))。在該專利文獻(xiàn)所公開的加工裝置中,使用觸式探針在加工裝置的機(jī)器上測定表面狀態(tài)。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn):日本特開-號公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的課題、這里,在專利文獻(xiàn)所公開的接觸式即觸式探針方式中,能夠進(jìn)行高精度的機(jī)器上測定。但是,在該觸式探針方式中,加工物表面損傷,此外,觸式探針的末端的...
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